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洁净室的净化空调负荷由下面几部分组成

更新时间:2013-08-01      点击次数:3477

                          洁净室的净化空调负荷由下面几部分组成

洁净室的净化空调负荷由下面几部分组成:
一、室内负荷
主要包括:
1、室内作业人员的散热、散湿负荷。
2、室内照明灯具的散热负荷。
3、洁净室围护结构(墙、顶、地、门、窗)的传热、传湿负荷。
4、生产设备和生产过程的散热、散湿负荷。
二、洁净室新风处理的热、湿负荷。夏季是降温去湿;冬季是加热、加湿。
三、空气循环时风机(或FFU)的温升和水泵的温升负荷。
2.2.2  洁净室的空调负荷特点
一、别洁净室(100级,10级,1级)是垂直单向流洁净室,其送风机的风量非常大,高达400~500次/h换气,而且风机的压头也很高,一般多在1000~1500Pa甚至高达2000Pa以上,因此风机温升的负荷大。按理论计算:在集中送风方式的系统中,风机的温升为1.5℃,*一项的负荷就是500~700W/m2;如果采用FFU送风方式,风机温升的负荷也要200~250 W/m2。因此,风机温升的负荷大是其一个负荷特点。
二、服务于微电子和光电子的别洁净室和单人单面净化工作台因工艺排风量大,所以新风量也很大,新风量一般在10~20次/h换气;因此,处理如此多新风的负荷大约为400~800 W/m2;个别工艺的排风量更大,固新风负荷也还会更大。因此新风负荷大是其第二个负荷特点。
三、生产设备和生产过程的散热、散湿负荷大,单人双面净化工作台是别洁净室的第三个负荷特点。生产负荷的大小是与工艺生产本身的性质、生产设备的密闭、保温、通风以及水冷却的情况有关。
四、围护结构的传热、照明灯具的散热以及作业人员的发热这三项负荷相对比较小,三项负荷之和还不足总负荷的10%(其中:照明负荷大约20~30 W/m2;围护结构负荷大约20~30 W/m2;作业人员负荷大约10~15 W/m2),这是别洁净室第四个负荷特点。

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